Efter at lyset kommer ind i stråledeleren, kan det almindelige lys opdeles i følgende tre typer i henhold til bølgelængden:
Tæt på UV (nær UV): 200-380 nm
Vakuum UV< vuv=""> -200 10-200 nm
Ekstrem ultraviolet, ekstrem ultraviolet (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10 nm
